A cikin semiconductor-Gwaje-gwajen tsarin na'urori, tsaftacewar sinadarai yana nufin cire gurɓatattun abubuwa masu cutarwa ko gurɓatattun mai da aka shafa a saman semiconductors, kayan ƙarfe da kayan dakin gwaje-gwaje. Tsaftacewa yana amfani da sinadaran sinadarai da abubuwan narkewa na halitta don haifar da halayen sinadarai da tasirin narkewa tare da ƙazanta da gurɓatattun mai da aka shafa a saman kayan aikin. Hakanan ana iya amfani da matakan jiki kamar ultrasonication, dumama da famfo na injin don cire ƙazanta daga saman kayan aikin. Sannan ana wanke kayan aikin da babban adadin mai mai yawa.-tsarki mai zafi-kuma-ruwan sanyi da aka cire daga ion don samun saman da ya yi tsabta.
1.1 Muhimmancin Tsaftace Sinadarai
Ana buƙatar tsaftace sinadarai ga kowace gwaji a gwajin tsari. Ingancin tsaftace sinadarai yana da tasiri mai mahimmanci akan sakamakon gwaji. Tsaftacewa mara kyau na iya haifar da gazawa ko rashin kyau-Sakamakon gwaji mai inganci. Saboda haka, fahimtar ayyuka da ƙa'idodin tsaftace sinadarai yana da mahimmanci don samun nasarar gwaje-gwajen tsari.
Kamar yadda aka sani, ɗaya daga cikin muhimman abubuwan da semiconductors ke amfani da su shine yawan saurin kamuwa da ƙazanta. Har ma da gano ƙazanta a sassan.-kowace-matakin miliyan zai iya canza halayen zahiri na semiconductors. Ana amfani da wannan kadarar don ƙera na'urorin semiconductors masu ayyuka daban-daban ta hanyar amfani da doping. Duk da haka, wannan kadarar tana haifar da ƙalubale ga semiconductors.-Gwaje-gwajen sarrafa na'urori. Magungunan sinadarai, kayan aikin sarrafawa da ruwan tsaftacewa duk suna iya zama tushen gurɓatar ƙazanta mai cutarwa. Ko da wafers na semiconductor masu tsabta za su fuskanci gurɓatar ƙazanta bayan dogon lokaci da aka fallasa su ga iska mai kewaye. Tsaftace sinadarai yana kawar da gurɓatar ƙazanta mai cutarwa kuma yana kiyaye tsaftar silicon-saman wafer.
1.2 Faɗin Tsaftace Sinadarai
Tsaftace sinadarai ya ƙunshi nau'i uku:
Tsaftacewa da silicon-saman wafer;
Tsaftace kayan ƙarfe (misali, tungsten filaments don na'urorin lantarki na ƙafewa, zanen molybdenum don tallafin ƙafewa, ƙarfe na aluminum don tushen ƙafewa, chromium don chromium-ƙera abin rufe fuska);
Tsaftace kayan aiki da tasoshin ruwa (misali, tweezers na ƙarfe, bututun quartz, kwantena na gilashi, molds na graphite, kayayyakin filastik da roba).
1.3 Nau'ikan Gurɓatattun Abubuwa a Silicon-Fafukan Wafer
(1) Kwayoyin halitta-Nau'in Shafar Najasa
Nau'in kwayoyin halitta na yau da kullun-suna samar da gurɓatattun abubuwa da aka shafa a kan silicon-saman wafer sun haɗa da man shafawa na halitta ko na roba, resins da mai. Abubuwan da ke da datti da ake samu yayin yanke substrate, niƙa da gogewa galibi suna cikin wannan rukuni. Sauran hanyoyin sun haɗa da sawun yatsa, ragowar photoresist da sauran abubuwan halitta.-ma'ajiyar sinadarai masu narkewa.
Kwayoyin halitta-Nau'in ƙazanta galibi ana shanye su a jiki kuma ana ɗaure su da silicon-saman wafer ta hanyar jan hankalin lantarki. Kwayoyin mai, resins da mai gabaɗaya ba su da-polar. Haɗawa yana tasowa ne daga jan hankali tsakanin ƙwayoyin ƙazanta marasa tsaka-tsaki da kuma ragowar ƙarfin atom ɗin silicon na saman. Wannan hulɗar tana daidai da ƙarfin van der Waals tsakanin ƙwayoyin halitta a cikin lu'ulu'u na kwayoyin halitta. Irin waɗannan ƙarfin jan hankali suna da rauni kuma suna lalacewa da sauri tare da ƙaruwar nisa tsakanin ƙwayoyin halitta. Matsakaicin hulɗa mai tasiri shine kimanin 2.-3×10⁻⁸cm (2)-3 Å), wanda yake daidai da diamita na kwayoyin halitta. Saboda haka kwayoyin halitta-Ana iya kawar da ƙazanta iri cikin sauƙi idan aka kwatanta da sauran.
Wani babban siffa kuma ita ce yawancin kwayoyin halitta-Nau'in gurɓatattun abubuwa ruwa ne-mahadi masu narkewar halitta. Shaye-shayen su yana sa silicon ya zama mai narkewa-saman wafer yana kama da hydrophobic, wanda ke hana hulɗa mai tasiri tsakanin ruwan da aka cire daga ion / acid-Maganin alkali da saman wafer. Wannan yana hana sinadaran hulɗa da ƙwayoyin saman kuma yana hana ingantaccen tsaftacewar sinadarai.
(2) Ionic-Nau'in Shafar Najasa
Ion na gama gari-suna samar da ƙazanta da aka shafa a kan silicon-saman wafer sun haɗa da K⁺, Na⁺, Ca²⁺, Mg²⁺, Fe²⁺, H⁺, OH⁻, F⁻, Cl⁻, S²⁻, CO₃²⁻da sauransu. Waɗannan ƙazanta suna fitowa ne daga wurare daban-daban: iskar da ke kewaye, kayan aiki da kayan aiki, sinadarai, ƙarancin sinadarai,-tsarkin ruwan da aka cire daga jiki, ruwan famfo, numfashin da aka fitar da iska da gumin mai aiki.
Ionic-Nau'in shaƙar iska galibi yana cikin kemisorption. ions na ƙazanta suna haɗuwa da saman wafer ta hanyar sinadarai.-Ƙarfin haɗin kai. Daidaito tsakanin ions na ƙazanta da atom ɗin saman ƙasa gajeru ne ƙwarai, ta yadda ions masu shaye-shaye za a iya ɗaukar su a matsayin wani ɓangare na layin silicon. Ƙazanta na ions masu narkewa a cikin sinadarai na iya aiki a matsayin cibiyoyin tarko: wasu suna ɗaure electrons na layi kyauta kuma suna aiki a matsayin masu karɓa; wasu kuma suna kama ramuka marasa iyaka kuma suna aiki a matsayin masu bayarwa. Saboda ƙarfin chemisorption mai ƙarfi, cire ƙazanta na ionic ya fi wahala fiye da kawar da gurɓatattun ƙwayoyin halitta.
(3) Atomic-Nau'in Shafar Najasa
Atom-Gurɓatattun abubuwa a saman abubuwa galibi sune ƙwayoyin ƙarfe kamar zinariya, azurfa, jan ƙarfe, ƙarfe da nickel. Waɗannan ƙwayoyin ƙarfe galibi ana samar da su ne ta hanyar rage yawan motsi a cikin abubuwan da ke haifar da acid, suna taruwa a kan silicon.-saman wafer.
Atom-Nau'in shaƙar iska yana nuna ƙarfin ɗaurewa mafi ƙarfi kuma shine mafi wahalar kawarwa.-Kwayoyin ƙarfe kamar zinariya da platinum ba sa yin aiki da acid da alkalis na yau da kullun. Saboda haka, ana buƙatar wasu sinadarai na musamman kamar aqua regia don samar da hadaddun abubuwa masu narkewa. Daga baya ana wanke nau'ikan ƙarfe masu rikitarwa da manyan sinadarai masu ƙarfi.-tsarkin ruwan da aka tsarkake.
1.4 Janar Silicon-Tsarin Tsaftace Wafer
Kamar yadda aka yi nazari a sama, kwayoyin halitta-ƙazanta iri suna da sauƙin cirewa. Sauran gurɓatattun ƙwayoyin halitta na iya ɓoye ionic-da kuma atom-rubuta ƙazanta kuma ka hana su cirewa. Saboda haka, dole ne a fara kawar da gurɓatattun ƙwayoyin halitta gaba ɗaya yayin silicon-tsaftace sinadarai na wafer.
Ionic-da kuma atom-Ana yin amfani da sinadarai masu ƙarfi a saman ƙasa. Gurɓatattun sinadarai na atom yawanci suna nan a ƙananan adadi kuma ba sa shiga cikin acid da alkalis na yau da kullun; ana iya narkar da su ne kawai ta hanyar aqua regia ko hydrogen mai acidic.-Maganin peroxide. Ruwan ruwa da hydrogen peroxide mai acidic suma suna narkar da ƙazanta na ionic. Tsarin aiki na yau da kullun yana amfani da acid-Maganin alkali ko alkaline hydrogen peroxide don cire ƙazanta na ionic da farko. Sannan a cire sauran gurɓatattun ionic da ƙazanta na atomic ta amfani da aqua regia ko acidic hydrogen peroxide. A wanke da ruwa mai zafi.-Ruwan tsarkakewa yana kammala aikin.
A taƙaice, silicon gabaɗaya-Tsarin tsaftacewar wafer shine: Rage mai→Cire ion→Atom-kawar da ƙazanta→An cire shi daga jiki-kurkura ruwa.
Dole ne a yi wafers na silicon a wanke su da sinadarai kafin kowace gwaji. Duk da haka, yanayin saman ya bambanta daga gudu zuwa gudu. Saboda haka, sinadarai na tsaftacewa da abubuwan da ake sa ran za su fi muhimmanci sun bambanta. Ayyukan tsaftacewa masu amfani suna da sassauƙa. Za a ƙayyade hanyoyin siminti da matakai a kan akwati.-by-tushen shari'a bisa ga ainihin tsaftacewa-buƙatun sakamako.
1.5 Maganin Tsaftacewa Ga Karfe da Kayan Aiki Na Yau Da Kullum
Kayan ƙarfe da kayan aikin dakin gwaje-gwaje sune manyan hanyoyin silicon-Gurɓatar wafer. Tsaftace ƙarfe da kayan aiki sosai wajibi ne don tabbatar da wafer-Tsaftace saman. Ka'idar tsaftacewa ta gaba ɗaya ga ƙarfe da kayan aiki ita ce: cire gurɓatattun mai da farko; yi feshi ko wankewa da acid, alkalis, maganin wanke-wanke ko aqua regia; sannan a gama da kurkure sosai da ruwa mai yawa.-tsarkin ruwan da aka tsarkake.
2 Ilimin Tsaro
Gwaje-gwajen galibi suna amfani da sinadarai da iskar gas iri-iri, gami da acid mai ƙonewa, mai fashewa, mai guba da kuma mai lalata abubuwa.-Abubuwan alkali. Rashin kulawa da kyau na iya haifar da haɗurra. Ya kamata a ba da fifiko ga matakan rigakafi. Idan haɗari ya faru, a kwantar da hankalinmu kuma a aiwatar da matakan gyara da suka dace cikin gaggawa.
2.1 Amintaccen Kula da Sinadaran Halitta
Sinadaran da ake amfani da su wajen hada sinadarai na halitta sun hada da toluene, acetone, ethanol, methyl ethyl ketone, trichlorethylene da carbon tetrachloride. Yawancin sinadaran da ke dauke da sinadarai na halitta suna iya kamawa da wuta kuma suna kamawa a karkashin wuta mai karfi.-yanayin zafi ko kusa da harshen wuta. Ajiye su a wurare masu sanyi daga inda wuta ke tashi. Kada a dumama kwantena masu narkewa kai tsaye a kan murhun lantarki; ruwa-Ana fifita dumama wanka idan ya zama dole. Idan gobara ta tashi, a kashe harshen wuta da zane mai ɗanɗano, yashi mai laushi, da kuma carbon.-na'urorin kashe gobara na dioxide, carbon-na'urorin kashe gobara na tetrachloride ko na'urorin kashe gobara na kumfa. Kada a taɓa shafa ruwa ko ruwa-tushen acid-masu kashe alkali.
Sinadaran sinadarai masu narkewa suna da saurin canzawa kuma suna da nau'ikan guba daban-daban. Duk ayyukan za a yi su ne a cikin murfin hayaki tare da isasshen iska.
2.2 Amintaccen Kula da Acid da Alkalis
Gwaje-gwajen suna amfani da ƙarfi-magungunan acid kamar sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid da aqua regia, da kuma ƙarfi-Maganin alkali, gami da sodium hydroxide da potassium hydroxide. Waɗannan sinadarai suna da matuƙar lalata fata da tufafi na ɗan adam, suna buƙatar kulawa ta musamman kan tsaron aiki.
Sanya tsarin samun iska mai inganci da kuma fitar da hayaki a wuraren da tururin acid ko alkali zai iya taruwa.
Masu aiki za su sanya kayan kariya masu dacewa kamar safar hannu ta roba da na'urorin numfashi.
Kada a taɓa amfani da maganin acid ko alkali na pipette ta baki; yi amfani da pipettes da aka sanya musu kwan fitilar roba.
A yi taka-tsantsan yayin jigilar kaya domin hana fashewar kwalba ko kuma toshewarta. A nuna wuraren da kwalbar ke da nisa da ma'aikata yayin buɗe kwantenoni.
A riƙa zuba sinadarin sulfuric a hankali a cikin ruwa domin a narkar da shi. Kada a taɓa zuba ruwa a cikin sinadarin sulfuric mai ƙarfi.
Kafin a yi maganin, a narkar da sinadarin acid ko alkaline mai ƙarfi da ruwa, sannan a yi maganin alkali ko acid mai dacewa.
Za a tace dukkan tasoshin da ba komai a cikinsu waɗanda a da suke ɗauke da sinadarin acid ko alkalis, a kuma maimaita wanke su da ruwa, sannan a yi musu aikin tsaftacewa na yau da kullun.
Idan akwai acid-Alkaluman da ke ƙonewa, sannan a wanke kyallen da abin ya shafa da ruwan da ke gudana nan take. Idan ya yi ambaliya, a ba wa idanu ruwa da sauri da ruwan famfo mai yawa. A nemi magani nan take bayan an wanke, ba tare da la'akari da tsananin ƙonewa ko kuma yadda ido ke fallasa ba.
2.3 Ingantaccen Gudanar da Iskar Gas
Ana samar da iskar gas ta hanyar amfani da iskar gas mai ƙarfi-Silinda masu matsin lamba ko bututun iskar gas. Haɗa wasu iskar gas na iya haifar da ƙonewa ko fashewa.
Silinda na gas suna da launi-An rubuta kuma an yi masa lakabi don gano iskar gas da ke cikinta. Silinda suna riƙe da iskar gas a matsin lamba mai yawa; sabbin silinda da aka cika suna kaiwa kimanin 150 kg/cm²Ana amfani da matakan kariya na musamman yayin ajiya da amfani.
A guji fallasa hasken rana kai tsaye ga silinda mai amfani da iskar gas a lokacin rani. A ajiye kayan da ke iya kamawa da kuma hanyoyin kunna wuta nesa da silinda.-yankunan ajiya.
A adana nau'ikan iskar gas da ke amsawa da wuta ko fashewa idan aka taɓa su (misali silinda hydrogen da oxygen) a cikin ɗakuna daban-daban domin gujewa haɗurra da ke faruwa sakamakon zubewar iskar gas.
Kar a shanye iskar gas ɗin silinda gaba ɗaya; a riƙe wani matsin lamba da ya rage a cikin silinda.
A hana gurɓatar mai a kan bawuloli da maƙullan silinda.
Lokacin amfani da hydrogen, cire iska daga kayan aiki da iskar gas mara aiki, duba dukkan tsarin don ganin ko akwai ɗigowar ruwa, sannan a sanya masu hana walƙiya.
2.4 Kula da Abubuwa Masu Guba Lafiya
Hana guba yayin aiki da sinadarai masu guba da mahaɗan a gwaje-gwaje. Manyan ƙa'idodin aminci sune kamar haka:
A yi aiki a cikin murfin hayaki. A yi maganin ragowar shara da ruwan shara kafin a zubar da su a wurare da aka keɓe masu aminci.
Sanya na'urorin numfashi da safar hannu masu kariya. A guji taɓa fata da kuma shan abubuwa masu guba ta baki ko ta halin kaka.
A wanke safar hannu sosai da ruwa kafin a cire su bayan an gama gwaje-gwaje.
Lokacin Saƙo: Yuli-30-2026
