Ao amin'ny semiconductor-Amin'ny fanandramana ny fizotran'ny fitaovana, ny fanadiovana simika dia manondro ny fanesorana ireo loto manimba isan-karazany na loto menaka miraikitra amin'ny velaran'ny semiconductor, fitaovana metaly ary fitaovana laboratoara. Ny fanadiovana dia mampiasa reagents simika sy solvents organika mba hampihetsika ny fihetsika simika sy ny fiantraikan'ny fandravana miaraka amin'ny loto sy loto menaka miraikitra amin'ny velaran'ny workpiece. Ny fepetra ara-batana toy ny ultrasonication, ny fanafanana ary ny paompy banga dia azo ampiharina ihany koa mba hanesorana ny loto amin'ny velaran'ny workpiece. Avy eo dia kobanina amin'ny rano be dia be ny workpieces.-fahadiovana mafana-SY-rano mangatsiaka tsy misy iôna mba hahazoana velarana madio.
1.1 Ny maha-zava-dehibe ny fanadiovana simika
Ilaina ny fanadiovana simika amin'ny andrana rehetra amin'ny fitiliana ny dingana. Ny kalitaon'ny fanadiovana simika dia misy fiantraikany lehibe amin'ny valin'ny andrana. Ny fanadiovana tsy mety dia mety hiteraka vokatra tsy mahomby na ratsy.-Vokatra fanandramana tsara kalitao. Noho izany, ny fahatakarana ny fiasa sy ny fitsipiky ny fanadiovana simika dia tena ilaina mba hahomby amin'ny fanandramana dingana.
Araka ny fantatra tsara, ny toetra iray manan-danja amin'ny semiconductors dia ny fahatsapany ho mora tohina amin'ny loto. Na dia ny loto kely aza amin'ny faritra sasany dia misy ihany koa.-isaky ny-Afaka manova ny toetra ara-batana amin'ny semiconductors ny ambaratonga iray tapitrisa. Ampiasaina hanamboarana fitaovana semiconductor manana asa isan-karazany amin'ny alàlan'ny doping io toetra io. Na izany aza, io toetra io ihany no miteraka fanamby ho an'ny semiconductor.-andrana momba ny fizotran'ny fitaovana. Ny akora simika, ny fitaovana fanodinana ary ny rano fanadiovana dia mety ho loharanon'ny loto manimba. Na dia ny wafer semiconductor madio aza dia hiharan'ny loto miharihary rehefa avy niharan'ny rivotra manodidina nandritra ny fotoana ela. Ny fanadiovana simika dia manafoana ny loto manimba ary mitazona silikônina ho madio.-velaran-tany manify.
1.2 Sehatry ny fanadiovana simika
Ny fanadiovana simika dia mahafaoka sokajy telo lehibe indrindra:
Fanadiovana ny silikônina-ambonin'ny wafer;
Fanadiovana ireo fitaovana metaly (ohatra, kofehy tungstène ho an'ny elektrôda mampivaingana, takelaka molybdenum ho an'ny fanohanana mampivaingana, firaka aluminium ho an'ny loharanon'ny mampivaingana, chromium ho an'ny chromium-fanamboarana saron-tava);
Fanadiovana fitaovana sy fitoeran-javatra (ohatra, fitaovana fanjairana metaly, fantsona quartz, fitoeran-javatra fitaratra, lasitra grafita, plastika sy vokatra fingotra).
1.3 Karazana loto ao amin'ny silikônina-Ety ambonin'ny Wafer
(1) Molekiola-Karazana Fidiran'ny Fahalotoana
Molekiola mahazatra-mamorona loto voatsindrona amin'ny silikônina-Ny velaran'ny wafer dia ahitana menaka voajanahary na sentetika, resina ary menaka. Ny loto tafiditra mandritra ny fanapahana, fikosoham-bary ary fanadiovana ny substrate dia tafiditra amin'ity sokajy ity. Ny loharano hafa dia ahitana ny dian-tanana, ny sisa tavela amin'ny photoresist ary ny sisa organika-fametrahana solvent.
molekiolan'ny-Ireo karazana loto ireo dia voatsindrona ara-batana ary mifamatotra amin'ny silikônina-ny velaran'ny wafer amin'ny alàlan'ny fisintonana elektrostatika. Ny molekiola amin'ny menaka, resina ary menaka dia amin'ny ankapobeny tsy-polaritika. Ny fifamatorana dia avy amin'ny fifanintonana eo amin'ny molekiola tsy madio tsy miandany sy ny hery sisa tavela amin'ny atôma silikônina ambonin'ny tany. Mitovy amin'ny hery van der Waals eo amin'ny molekiola ao amin'ny kristaly molekiola io fifandraisana io. Somary malemy ny hery fifanintonana toy izany ary mihalevona haingana miaraka amin'ny fitomboan'ny elanelana intermolekiola. Ny elanelan'ny fifandraisana mahomby dia eo amin'ny 2 eo ho eo.-3×10⁻⁸sm (2-3 Å), azo ampitahaina amin'ny savaivony molekiola. Noho izany, ny molekiola-azo esorina mora foana ireo karazana loto ireo.
Ny toetra iray lehibe iray hafa dia ny ankamaroan'ny molekiola-karazana loto dia rano-singa organika tsy mety levona. Ny fidiran'izy ireo dia mahatonga ny silisiôma ho-tsy dia misy iônika loatra ny velaran'ny wafer, izay manakana ny fifandraisana mahomby eo amin'ny rano/asidra deionized-vahaolana alkali sy velaran-tany misy sosona manify. Izany dia misakana ny fifandraisan'ny akora simika amin'ny poti-javatra eny ambonin'ny tany ary manakana ny fanadiovana simika mahomby.
(2) Ionika-Karazana Fidiran'ny Fahalotoana
Iôna iraisana-mamorona loto voatsindrona amin'ny silikônina-Ny velaran'ny wafer dia ahitana K⁺, N / A⁺, Ca²⁺, Mg²⁺, Fe²⁺, H⁺, OH⁻, F⁻, Cl⁻, S²⁻, CO₃²⁻sy ny sisa. Ireo loto ireo dia avy amin'ny loharano isan-karazany: rivotra manodidina, fitaovana sy kojakoja, akora simika, akora ambany-rano tsy misy iônina madio, rano avy amin'ny paompy, fofonaina avoaka ary hatsembohan'ny mpiasa.
Ionika-Ny karazana adsorption dia an'ny chemisorption betsaka indrindra. Ny ion-javatra maloto dia mifamatotra amin'ny velaran'ny wafer amin'ny alàlan'ny simika-hery mifamatotra. Tena fohy dia fohy ny elanelan'ny fifandanjana eo amin'ny ion-javatra maloto sy ny atôma ambonin'ny tany, ka azo heverina ho anisan'ny tambajotra silikônina ireo ion-javatra voaray. Ny loto ionika voaray amin'ny alalan'ny simika dia mety ho toy ny foibe fandrika: ny sasany dia mifamatotra amin'ny elektrôna tambajotra malalaka ary miasa ho toy ny mpandray; ny hafa kosa dia misambotra lavaka malalaka ary miasa ho toy ny mpanome. Noho ny hery simika mahery vaika, ny fanesorana ny loto ionika dia sarotra kokoa noho ny fanesorana ny loto molekiola.
(3) Atomika-Karazana Fidiran'ny Fahalotoana
Atomika-Ny loto ety ambonin'ny tany dia atôma metaly toy ny volamena, volafotsy, varahina, vy ary nikela. Ireo atôma metaly ireo dia mazàna ateraky ny fihetsika famindrana reductive ao anaty etchants asidra, izay mipetraka eo amin'ny silisiôma.-velaran-tany manify.
Atomika-Ny karazana adsorption no mampiseho ny hery mifamatotra matanjaka indrindra ary sarotra indrindra esorina.-Zara raha mihetsika amin'ny asidra sy alkali tsotra ny atôma metaly toy ny volamena sy platina. Noho izany dia ilaina ny reagents manokana toy ny aqua regia mba hamoronana complexes mety levona. Ny karazana metaly complexes dia voasasa amin'ny rano avo lenta avy eo-rano tsy misy iônina madio.
1.4 Silisiôma Jeneraly-Fomba fanadiovana ny "wafer"
Araka ny nodinihina etsy ambony, ny molekiola-Mora esorina ireo loto karazana. Ny loto molekiola sisa tavela dia afaka manafina ny loto ionika-ary atomika-karazana loto ary manakana ny fanesorana azy ireo. Araka izany, ny loto molekiola dia tsy maintsy esorina tanteraka aloha mandritra ny silikônina-fanadiovana simika amin'ny wafer.
Ionika-ary atomika-Ireo loto karazana dia sintonina simika miaraka amin'ny fifandraisana matanjaka amin'ny ety ambonin'ny tany. Ny loto atomika dia mazàna hita amin'ny habetsahana kely ary tsy mihetsika amin'ny asidra sy alkali mahazatra; tsy afaka levona afa-tsy amin'ny aqua regia na hidrôzenina asidra izy ireo.-vahaolana peroxyde. Ny Aqua regia sy ny peroxyde hydrogène asidra dia manafoana ihany koa ny loto ionika. Ny fomba fiasa mahazatra dia mampiasa asidra-vahaolana alkali na peroxyde hydrogène alkaline mba hanesorana aloha ny loto ionika. Avy eo dia esorina amin'ny aqua regia na peroxyde hydrogène asidra ny loto ionika sisa tavela sy ny loto atomika. Kobanina farany amin'ny rano be dia be-Rano tsy misy iônina madio no mamita ny dingana.
Raha fintinina, ny silikônina amin'ny ankapobeny-Ny filaharan'ny fanadiovana wafer dia: Manala menaka→Fanesorana iôna→Atomika-fanesorana ny loto→Deionized-fanasana amin'ny rano.
Tsy maintsy diovina amin'ny fomba simika ny "silicon wafers" alohan'ny fanandramana rehetra. Na izany aza, miovaova arakaraka ny fampiasana azy ny toe-javatra ety ambonin'ny tany. Noho izany dia miovaova araka izany ny akora simika fanadiovana sy ny tanjona laharam-pahamehana. Azo ovaina ny fomba fiasa azo ampiharina amin'ny fanadiovana. Ny fomba sy ny dingana mivaingana dia tsy maintsy faritana amin'ny tranga iray.-by-mifototra amin'ny tranga araka ny fanadiovana tena izy-fepetra takiana amin'ny vokatra.
1.5 Fikarakarana fanadiovana ho an'ny metaly sy fitaovana mahazatra
Loharano lehibe amin'ny silisiôma ny akora metaly sy ny fitaovan'ny laboratoara-fahalotoan'ny wafer. Tsy maintsy diovina tsara ny metaly sy ny fitaovana mba hahazoana antoka fa voaloto ny wafer-fahadiovan'ny ety ivelany. Ny fitsipika ankapobeny momba ny fanadiovana ny metaly sy ny fitaovana dia: esory aloha ny loto menaka; manaova fanadiovana na fanasana amin'ny asidra, alkali, vahaolana fanasana na aqua regia; ary farano amin'ny fanasana tsara amin'ny rano be dia be-rano tsy misy iônina madio.
2 Fahalalana momba ny fiarovana
Matetika ny andrana dia mampiasa akora simika sy entona isan-karazany, anisan'izany ny asidra mora mirehitra, mipoaka, misy poizina ary manimba.-akora alkali. Mety hiteraka loza ny fikirakirana tsy mety. Tokony hatao laharam-pahamehana ny fepetra fisorohana. Raha misy loza mitranga, dia mitonia ary ampiharo haingana ny fepetra fanitsiana sahaza.
2.1 Fitantanana azo antoka ny ranoka solvents organika
Ny solvent organika mahazatra dia ahitana toluene, acétone, etanol, methyl ethyl ketone, trichloroethylene ary carbon tetrachloride. Mora mirehitra ny ankamaroan'ny solvent organika ary mirehitra amin'ny hafanana ambony.-mari-pana na akaikin'ny lelafo misokatra. Tehirizo ao amin'ny toerana mangatsiaka lavitry ny loharanon'ny afo izy ireo. Aza hafanaina mivantana amin'ny fatana elektrika ny fitoeran-javatra misy solvent; rano-Aleo kokoa ny fanafanana ny efitra fandroana rehefa ilaina ny fanafanana. Raha sendra misy afo, vonoy amin'ny lamba mando, fasika madinika, karbônina ny lelafo-mpamono dioksida, karbônina-mpamono afo tetraklorida na mpamono afo misy foam. Aza mampiasa rano na rano mihitsy-asidra mifototra amin'ny-mpamono afo alkali.
Mora miempo ny ranoka organika ary samy hafa ny tahan'ny poizina ao anatiny. Ny asa rehetra dia tsy maintsy atao ao anaty fitoeran-tsetroka misy rivotra ampy.
2.2 Fitantanana azo antoka ny asidra sy ny alkali
Mampiasa hery matanjaka ny fanandramana-vahaolana asidra toy ny asidra solifara, asidra nitrika, asidra hydrochloric, asidra hydrofluoric ary aqua regia, ary koa ireo asidra mahery-vahaolana alkali anisan'izany ny sodium hydroxide sy potassium hydroxide. Ireo akora ireo dia manimba be ny hoditry ny olombelona sy ny akanjo, izay mitaky fanaraha-maso tsara ny fiarovana amin'ny fampiasana azy.
Mametraha rafitra fampidirana rivotra sy rafitra fivoahan-drivotra mahomby any amin'ny toerana mety hiangonan'ny etona asidra na alkali.
Tsy maintsy manao fitaovana fiarovana sahaza azy ireo mpiasa toy ny fonon-tanana fingotra sy aro-tava.
Aza ampidirina amin'ny vava mihitsy ny vahaolana asidra na alkali; ampiasao ny pipette misy takamoa fingotra.
Mitandrema tsara mandritra ny fitaterana mba hisorohana ny fiparitahan'ny tavoahangy na ny fahavakisan'izany. Atoroy lavitry ny mpiasa ny fisokafan'ny tavoahangy rehefa manokatra fitoeran-javatra.
Ampio tsikelikely ao anaty rano foana ny asidra solifara mba hampifangaroana azy. Aza araraka rano mihitsy ao anaty asidra solifara mifantoka.
Alohan'ny hanalana ny asidra amine dia afangaro amin'ny rano ny asidra na alkali mifantoka, avy eo dia ataovy ny fanalana azy amin'ny fampiasana vahaolana alkali na asidra mifanaraka amin'izany.
Ireo fitoeran-javatra foana izay nisy asidra na alkalis mifantoka teo aloha dia tsy maintsy tatatra tanteraka, kobanina imbetsaka amin'ny rano, ary avy eo dia diovina tsy tapaka.
Raha misy asidra-Raha may amin'ny alkali, sasao avy hatrany amin'ny rano mikoriana be dia be ny sela voakasika. Raha misy rano mitete miditra amin'ny maso, dia kobanina haingana amin'ny rano fisotro madio ny maso. Mitadiava fitsaboana avy hatrany aorian'ny fanasana, na inona na inona hamafin'ny may na ny fiantraikan'ny maso.
2.3 Fitantanana azo antoka ny entona
Ny entona fanandramana dia omena amin'ny alàlan'ny-tavoara fanerena na fantsona entona. Ny fifangaroan'ny entona sasany dia mety hiteraka fandoroana na fipoahana.
Miloko ny tavoahangy entona-voasokajy sy asiana marika mba hamantarana ireo entona ao anatiny. Ny cylinders dia mitazona ny entona amin'ny tsindry avo; ny cylinders vao feno dia mahatratra eo amin'ny 150 eo ho eo kg/sm²Misy fepetra fiarovana manokana ampiharina mandritra ny fitahirizana sy ny fampiasana azy.
Aza avela hilentika mivantana amin'ny tara-masoandro ny tavoahangy entona amin'ny fahavaratra. Arovy amin'ny tavoahangy ireo fitaovana mora mirehitra sy ireo loharanon'ny afo.-faritra fitahirizana.
Tehirizo ao amin'ny efitrano mitokana ireo entona roa izay mihetsika mora mirehitra na mipoaka rehefa mikasika (ohatra ny tavoara hidrôzenina sy oksizenina) mba hisorohana ny loza ateraky ny fivoahan'ny entona.
Aza avoaka tanteraka ny entona ao anaty cylinder; tazomy ny tsindry sisa tavela ao anatin'ny cylinder.
Fisorohana ny loto ateraky ny menaka eo amin'ny valva sy ny lakile cylindre.
Rehefa mampiasa hidrôzenina, esory amin'ny entona tsy mihetsika ny rivotra ao amin'ny fitaovana, jereo raha misy fivoahan'ny rano ao amin'ny rafitra iray manontolo, ary apetraho ireo "flashback arresters".
2.4 Fitantanana azo antoka ny akora misy poizina
Misoroka ny fanapoizinana rehefa miasa amin'ny akora simika misy poizina mandritra ny andrana. Ireto avy ireo fitsipika fototra momba ny fiarovana:
Manaova asa ao anatin'ny fitoeran-tsetroka. Karakarao ny fako sy ny ranoka alohan'ny hanariana azy ireo amin'ny toerana voatokana azo antoka.
Manaova arotava sy fonon-tanana fiarovana. Fadio ny mikasika ny hoditra sy ny fihinanana zavatra misy poizina amin'ny vava.
Kobanina tsara amin'ny rano ny fonon-tanana alohan'ny hanesorana azy rehefa vita ny andrana.
Fotoana fandefasana: 30 Jolay 2026