Ka har'a semiconductor‑Liteko tsa ts'ebetso ea sesebelisoa, ho hloekisa ka lik'hemik'hale ho bolela ho tlosoa ha litšila tse fapaneng tse kotsi kapa litšila tsa oli tse monngoang holim'a li-semiconductor, thepa ea tšepe le lisebelisoa tsa laboratori. Ho hloekisa ho sebelisa li-reagent tsa lik'hemik'hale le li-solvents tsa organic ho baka liketso tsa lik'hemik'hale le litlamorao tsa ho qhibiliha ka litšila le litšila tsa oli tse monngoang holim'a libaka tsa mosebetsi. Liteko tsa 'mele tse kang ultrasonication, ho futhumatsa le ho pompa ka vacuum le tsona li ka sebelisoa ho tlosa litšila holim'a libaka tsa mosebetsi. Likarolo tsa mosebetsi li ntan'o hlatsuoa ka bongata bo boholo ba metsi a phahameng.‑bohloeki bo chesang‑le‑metsi a batang a hloekisitsoeng ho fumana libaka tse hloekileng.
1.1 Bohlokoa ba ho Hloekisa Lik'hemik'hale
Ho hlwekisa ka lik'hemik'hale hoa hlokahala bakeng sa teko e 'ngoe le e 'ngoe tekong ea ts'ebetso. Boleng ba ho hlwekisa ka lik'hemik'hale bo na le tšusumetso e kholo liphellong tsa liteko. Ho hlwekisa ka tsela e sa lokelang ho ka lebisa ho hloleheng kapa ho mpefala.‑Liphetho tsa liteko tsa boleng bo holimo. Ka hona, ho utloisisa mesebetsi le melao-motheo ea ho hloekisa lik'hemik'hale ho bohlokoa bakeng sa liteko tse atlehileng tsa ts'ebetso.
Jwalo ka ha ho tsejwa, thepa e le nngwe ya bohlokwa ya di-semiconductors ke kutlwisiso ya tsona e phahameng ya ditshila. Esita le ho sala ditshila dikarolong.‑ka‑tekanyo ea milione e ka fetola thepa ea 'mele ea li-semiconductor. Thepa ena e sebelisetsoa ho etsa lisebelisoa tsa semiconductor tse nang le mesebetsi e fapaneng ka ho sebelisa doping. Leha ho le joalo, thepa ena e tšoanang e baka liphephetso bakeng sa li-semiconductor‑Liteko tsa ts'ebetso ea sesebelisoa. Li-reagent tsa lik'hemik'hale, lisebelisoa tsa ts'ebetso le metsi a hloekisang kaofela li ka sebetsa e le mehloli ea tšilafalo e kotsi ea litšila. Esita le li-wafer tsa semiconductor tse hloekileng li tla ba le tšilafalo e bonahalang ea litšila ka mor'a ho pepesehela moea o potolohileng nako e telele. Ho hloekisa lik'hemik'hale ho felisa tšilafalo e kotsi ea litšila 'me ho boloka silicon e hloekile‑libaka tsa wafer.
1.2 Sekhahla sa Tlhoekiso ea Lik'hemik'hale
Ho hlwekisa ka lik'hemik'hale ho akaretsa haholo-holo mekhahlelo e meraro:
Ho hlwekisa silicon‑libaka tsa wafer;
Ho hlwekisa thepa ya tshepe (mohlala, difaeba tsa tungsten bakeng sa di-electrode tsa mouoane, maqephe a molybdenum bakeng sa ditshehetso tsa mouoane, di-alloy tsa aluminium bakeng sa mehlodi ya mouoane, chromium bakeng sa chromium‑ho etsa maske);
Ho hlwekisa disebediswa le dijana (mohlala, di-tweezers tsa tshepe, di-tube tsa quartz, dijana tsa khalase, dibopeho tsa graphite, dihlahiswa tsa polasetiki le rabara).
1.3 Mefuta ea Litšila tse Silafetseng ho Silicon‑Libaka tsa Wafer
(1) Limolek'hule‑Mofuta oa ho Hloeka Ho Monya
Molek'hule e tloaelehileng‑etsa lintho tse silafatsang tse monngoang holim'a silicon‑Libaka tsa wafer li kenyelletsa mafura a tlhaho kapa a maiketsetso, li-resin le oli. Litšila tse hlahisoang nakong ea ho seha, ho sila le ho bentša substrate li oela sehlopheng sena haholo-holo. Mehloli e meng e kenyelletsa menoana ea letsoho, masala a photoresist le masala a tlhaho.‑li-deposit tsa solvent.
Limolek'hule‑litšila tsa mofuta ona hangata lia monngoa 'meleng' me li tlameletsoe ho silicon‑Limolek'hule tsa mafura, li-resin le oli hangata ha li na‑polar. Ho kopana ho hlaha ka lebaka la ho hohelana pakeng tsa limolek'hule tse sa hloekang tse sa nke lehlakore le matla a sa khotsofalang a masala a liathomo tsa silicon tse holim'a metsi. Tšebelisano ena e lekana le matla a van der Waals har'a limolek'hule tse likristale tsa limolek'hule. Matla a joalo a khahlehang a fokola 'me a bola ka potlako ka ho eketseha ha sebaka sa limolek'hule. Sebaka se sebetsang sa tšebelisano ke hoo e ka bang 2‑3×10⁻⁸cm (2)‑3 Å), e bapisoang le bophara ba limolek'hule. Kahoo limolek'hule‑litšila tsa mofuta ona li ka tlosoa habonolo ha ho bapisoa.
Tšobotsi e 'ngoe e kholo ke hore boholo ba limolek'hule‑lintho tse silafatsang ke metsi‑metsoako ea lintho tse phelang e sa qhibiliheng. Ho monya ha tsona ho etsa hore silicon‑bokaholimo ba wafer bo sa rateng metsi, e leng se sitisang ho kopana hantle pakeng tsa metsi a hloekisitsoeng/esiti‑ditharollo tsa alkali le bokaholimo ba wafer. Sena se thibela di-reagent ho sebelisana le dikarolwana tsa bokaholimo mme se thibela ho hlwekisa ka katleho dikhemikhale.
(2) Ionic‑Mofuta oa ho Hloeka Ho Monya
Ion e tloaelehileng‑etsa litšila tse khomaretsoeng holim'a silicon‑bokaholimo ba wafer bo kenyelletsa K⁺, Na⁺, Ca²⁺, Mg²⁺, Fe²⁺, H⁺, OH⁻, F⁻, Cl⁻, S²⁻, CO₃²⁻le tse ding. Ditshila tsena di tswa mehloding e fapaneng: moya o potolohileng, disebediswa le disebediswa, dikhemikhale,‑metsi a hloekileng a hloekisitsoeng, metsi a pompo, moea o ntshang moea le mofufutso oa motho ea sebetsang.
Ionic‑mofuta oa adsorption haholo-holo ke oa chemisorption. Li-ion tse litšila li hokahane le libaka tsa wafer ka lik'hemik'hale‑matla a tlamahano. Sebaka se lekanang pakeng tsa li-ion tse sa hloekang le liathomo tsa holim'a metsi se sekhutšoanyane haholo, hoo li-ion tse monyelitsoeng li ka nkoang e le karolo ea lattice ea silicon. Litšila tsa ionic tse chemisorbed li ka sebetsa e le litsi tsa ho tšoasa: tse ling li tlama lielektrone tsa lattice tse lokolohileng 'me li sebeletsa e le liamoheli; tse ling li tšoasa masoba a lokolohileng 'me li sebetsa e le bafani. Ka lebaka la matla a matla a chemisorption, ho tlosa litšila tsa ionic ho thata haholo ho feta ho felisa litšila tsa limolek'hule.
(3) Athomo‑Mofuta oa ho Hloeka Ho Monya
Athomo‑Litšila tse holim'a bokaholimo ke liathomo tsa tšepe tse kang khauta, silevera, koporo, tšepe le nikele. Liathomo tsena tsa tšepe hangata li hlahisoa ke liketso tse fokotsang ho falla ha lintho tse nang le asiti, tse theohelang holim'a silicon.‑libaka tsa wafer.
Athomo‑mofuta oa adsorption o bontša matla a matla ka ho fetisisa a ho tlama 'me ho thata ka ho fetisisa ho o felisa.‑liathomo tsa tšepe tse kang khauta le platinum ha li sebetse hantle le li-acid le li-alkali tse tloaelehileng. Ka hona, li-reagent tse khethehileng tse kang aqua regia lia hlokahala ho theha metsoako e qhibilihang. Mefuta ea tšepe e rarahaneng e hlatsuoa ka lebaka leo ka‑metsi a hloekileng a hloekisitsoeng.
1.4 Silicon e Akaretsang‑Mokhoa oa ho Hloekisa Wafer
Joalokaha ho hlahlobiloe kaholimo, limolek'hule‑litšila tsa mofuta ona li bonolo ho li tlosa ha ho bapisoa. Litšila tse setseng tsa limolek'hule li ka koahela ionic‑le athomo‑mofuta wa ditshila le ho thibela ho tloswa ha tsona. Ka hona, ditshila tsa dimolek'hule di lokela ho tloswa ka botlalo pele nakong ya silicon‑tlhoekiso ea lik'hemik'hale ea wafer.
Ionic‑le athomo‑litšila tsa mofuta ona li qhibilihisoa ka chemisorption e matla holim'a metsi. Litšila tsa athomo hangata li teng ka bongata bo fokolang 'me ha li kene ho li-acid tse tloaelehileng le li-alkali; li ka qhibilihisoa feela ke aqua regia kapa haedrojene e nang le asiti‑ditharollo tsa peroxide. Aqua regia le hydrogen peroxide e nang le asiti le tsona di qhala ditshila tsa ionic. Mokgwa o tlwaelehileng wa tshebetso o sebedisa asiti‑ditharollo tsa alkali kapa alkaline hydrogen peroxide ho tlosa ditshila tsa ionic pele. Ditshila tse setseng tsa ionic le ditshila tsa athomo di tloswa ho sebediswa aqua regia kapa acidic hydrogen peroxide. Ho hlatswa ha ho qetela ka high‑metsi a hlwekileng a hloekisitsoeng a phethela ts'ebetso.
Ka kakaretso, silicon e akaretsang‑Tatellano ea ho hloekisa wafer ke: Ho tlosa mafura→Ho tlosoa ha li-ion→Athomo‑ho tlosa litšila→E se e hlakotsoe‑ho hlatsoa ka metsi.
Li-wafer tsa silicon li tlameha ho hloekisoa ka lik'hemik'hale pele ho teko e 'ngoe le e 'ngoe. Leha ho le joalo, maemo a bokaholimo a fapana ho tloha ha ho tsamaisoa ho ea ho e 'ngoe. Ka hona, lik'hemik'hale tsa ho hloekisa le lipheo tsa bohlokoa lia fapana ho latela. Mesebetsi ea ho hloekisa e sebetsang ea tenyetseha. Mekhoa le mehato e tiileng e tla khethoa nyeoeng‑by‑motheo oa nyeoe ho latela tlhoekiso ea 'nete‑litlhoko tsa phello.
1.5 Kalafo ea ho Hloekisa bakeng sa Litšepe tse Tloaelehileng le Lisebelisoa
Lisebelisoa tsa tšepe le lisebelisoa tsa laboratori ke mehloli e meholo ea silicon‑Tšilafalo ea wafer. Ho hloekisoa ka botlalo ha litšepe le lisebelisoa hoa hlokahala ho netefatsa wafer‑bohloeki ba bokaholimo. Molao-motheo o akaretsang oa ho hloekisa litšepe le lisebelisoa ke: tlosa litšila tse mafura pele; etsa ho fata kapa ho hlatsoa ka li-acid, alkali, litharollo tsa ho hlatsoa kapa aqua regia; 'me u qete ka ho hlatsoa ka botlalo ka metsi a mangata.‑metsi a hloekileng a hloekisitsoeng.
2 Tsebo ea Polokeho
Liteko hangata li sebelisa lik'hemik'hale le likhase tse fapaneng, ho kenyeletsoa le asiti e tukang, e phatlohang, e chefo le e senyang‑dintho tse nang le alkali. Ho sebetsana ka tsela e sa lokelang ho ka baka dikotsi. Mehato ya thibelo e lokela ho etelletswa pele. Haeba kotsi e hlaha, dula o kgutsitse mme o kenye tshebetsong mehato e loketseng ya ho lokisa kapele.
2.1 Tšebeliso e Sireletsehileng ea Li-solvent tsa Organic
Lithako tse tloaelehileng tsa tlhaho li kenyelletsa toluene, acetone, ethanol, methyl ethyl ketone, trichloroethylene le carbon tetrachloride. Bongata ba lithako tsa tlhaho lia tuka 'me lia hotetsoa tlas'a maemo a phahameng a mocheso.‑maemo a mocheso kapa haufi le malakabe a bulehileng. Li boloke libakeng tse pholileng hole le mehloli ea ho hotetsa. U se ke ua futhumatsa lijana tsa ho qhibiliha ka ho toba litofong tsa motlakase; metsi‑Ho futhumatsa bate ho khethoa ha ho hlokahala ho futhumatsa. Haeba ho ka cha, tima malakabe ka lesela le mongobo, lehlabathe le lesesaane, khabone‑litima-mollo tsa daeoksayide, khabone‑litima-mollo tsa tetrachloride kapa litima-mollo tsa foam. Le ka mohla u se ke ua sebelisa metsi kapa metsi‑asiti e thehiloeng ho eona‑lintho tse timang alkali.
Li-solvent tsa tlhaho lia fetoha 'me li na le chefo e fapaneng. Mesebetsi eohle e lokela ho etsoa ka har'a li-hood tsa mosi tse nang le moea o lekaneng.
2.2 Tšebeliso e Sireletsehileng ea Li-acid le Li-alkali
Liteko li sebelisa matla‑ditharollo tsa asiti tse kang sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid le aqua regia, hammoho le matla a ho‑ditharollo tsa alkali ho kenyeletswa le sodium hydroxide le potassium hydroxide. Dintho tsena di senya letlalo le diaparo tsa batho haholo, di hloka taolo e hlokolosi ya ts'ireletso ya tshebetso.
Kenya mekhoa e sebetsang ea ho kenya moea le ho ntša mosi libakeng tseo mouoane oa asiti kapa alkali o ka bokellanang ho tsona.
Basebetsi ba lokela ho apara disebediswa tse loketseng tsa ho itšireletsa tse kang diatlana tsa rabara le di-respirator.
Le ka mohla u se ke ua sebelisa litharollo tsa asiti kapa alkali ka molomo; sebelisa li-pipettes tse nang le mabone a rabara.
Ela hloko ha o ntse o tsamaya ho thibela hore botlolo e thekesele kapa e robehe. Supa masoba a dibotlolo hole le basebetsi ha o bula dikontena.
Kamehla eketsa asiti ea sulfuric butle ka metsing bakeng sa ho e hlapolla. Le ka mohla u se ke ua tšela metsi ka asiti e teteaneng ea sulfuric.
Pele o tlosa li-acid tse ngata kapa li-alkali ka metsi, ebe o tlosa li-acid tse ngata ka ho sebelisa litharollo tse tsamaellanang tsa alkali kapa acid.
Metsi a se nang letho a neng a e-na le li-acid tse ngata kapa li-alkali a lokela ho ntšoa ka botlalo, a hlatsuoe ka metsi khafetsa, ebe a etsoa mekhoa ea ho hloekisa ea kamehla.
Haeba ho na le asiti‑Ho chesoa ha alkali, hlatsoa lisele tse amehileng ka metsi a mangata a phallang hang-hang. Haeba matheba a kena mahlong, nosetsa mahlo ka potlako ka metsi a mangata a pompo. Batla phekolo ea bongaka hang-hang ka mor'a ho hlatsoa, ho sa tsotellehe hore na ho chesoa ho matla hakae kapa hore na mahlo a pepesehetse ho hong.
2.3 Tšebeliso e Sireletsehileng ea Likhase
Likhase tsa liteko li fanoa ka‑disilindara tsa kgatello kapa diphaephe tsa kgase. Ho kopanya dikhase tse itseng ho ka fella ka ho tjha kapa ho phatloha.
Lisilindara tsa khase li na le 'mala‑di ngotswe le ho ngolwa ho hlwaya dikgase tse nang le tsona. Disilindara di boloka kgase kgatellong e phahameng; disilindara tse sa tswa tlatswa di fihla ho tse ka bang 150 kg/cm²Mekhoa e khethehileng ea tšireletso e sebetsa nakong ea polokelo le tšebeliso.
Qoba ho pepesehela lisilindara tsa khase ka ho toba lehlabula. Boloka thepa e tukang le mehloli ea ho hotetsa hole le silindara‑libaka tsa polokelo.
Boloka dipara tsa khase tse arabelang ka ho tuka kapa ka mokhoa o phatlohang ha di kopana (mohlala, disilindara tsa haeterojene le oksijene) ka diphaposing tse arohaneng ho qoba dikotsi tse bakwang ke ho dutla ha khase.
O se ke wa ntsha kgase ya silindara ka botlalo; boloka kgatello e itseng e setseng ka hare ho disilindara.
Thibela tšilafalo ea mafura li-valve tsa lisilindara le li-wrenches.
Ha o sebedisa haeterojene, ntsha moya ka hara disebediswa ka kgase e sa sebetseng, hlahloba sistimi yohle bakeng sa ho dutla ha metsi, mme o kenye di-arrestor tsa flashback.
2.4 Ho Sebetsana le Lintho Tse Chefo ka Mokhoa o Sireletsehileng
Thibela chefo ha o sebetsa ka di-reagent tse chefo tsa dikhemikhale le metsoako ditekong. Melao-motheo ya bohlokwa ya polokeho ke e latelang:
Etsa mesebetsi ka har'a li-hood tsa mosi. Tšoara masala a litšila le lino tse litšila pele u li lahla libakeng tse khethiloeng tse sireletsehileng.
Apara li-respirator le liatlana tse sireletsang. Qoba ho kopana le letlalo le ho monya lintho tse chefo ka molomo ka litšenyehelo tsohle.
Hlatsoa liatlana ka metsi hantle pele u li tlosa ka mor'a ho qeta liteko.
Nako ea poso: Phupu-30-2026