Nan semi-kondiktè-Nan eksperyans pwosesis aparèy, netwayaj chimik refere a retire divès enpurte danjere oswa kontaminan lwil ki adsorbe sou sifas semi-kondiktè, materyèl metalik ak istansil laboratwa. Netwayaj la itilize reyaktif chimik ak solvang òganik pou deklanche reyaksyon chimik ak efè disolisyon ak enpurte ak kontaminan lwil ki adsorbe sou sifas pyès travay yo. Mezi fizik tankou ultrasons, chofaj ak ponpe vakyòm kapab aplike tou pou retire enpurte yo sou sifas pyès travay yo. Lè sa a, pyès travay yo rense ak gwo volim likid ki wo.-pite cho-epi-dlo frèt deyonize pou jwenn sifas pwòp.
1.1 Enpòtans Netwayaj Chimik
Netwayaj chimik obligatwa pou chak eksperyans nan tès pwosesis. Kalite netwayaj chimik la gen yon enfliyans kritik sou rezilta eksperimantal yo. Netwayaj ki pa apwopriye ka mennen nan echèk oswa move rezilta.-rezilta eksperimantal kalite siperyè. Se poutèt sa, konprann fonksyon ak prensip netwayaj chimik yo esansyèl pou eksperyans pwosesis ki reyisi.
Jan tout moun konnen, youn nan pwopriyete kle semi-kondiktè yo se gwo sansiblite yo genyen pou enpurte. Menm tras enpurte nan pati yo-pa-milyon nivo ka chanje pwopriyete fizik semi-kondiktè yo. Pwopriyete sa a itilize pou fabrike aparèy semi-kondiktè ki gen divès fonksyon atravè dopaj. Sepandan, menm pwopriyete sa a kreye defi pou semi-kondiktè yo.-Eksperyans pwosesis aparèy yo. Reyaktif chimik yo, zouti pwosesis yo ak dlo netwayaj yo tout ka aji kòm sous kontaminasyon enpurte danjere. Menm waf semikondiktè ki pwòp yo pral soufri kontaminasyon enpurte aparan apre yon ekspozisyon pwolonje nan lè anbyen an. Netwayaj chimik elimine kontaminasyon enpurte danjere epi kenbe silikon pwòp.-sifas waf yo.
1.2 Dimansyon Netwayaj Chimik la
Netwayaj chimik la sitou kouvri twa kategori:
Netwayaj silikon-sifas waf yo;
Netwayaj materyèl metalik (pa egzanp, filaman tengstèn pou elektwòd evaporasyon, fèy molibdèn pou sipò evaporasyon, alyaj aliminyòm pou sous evaporasyon, chromium pou chromium-fabrikasyon mask);
Netwayaj zouti ak veso (pa egzanp, pensèt metal, tib kwatz, resipyan an vè, mwazi grafit, pwodui plastik ak kawoutchou).
1.3 Kalite enpurte kontaminan sou Silisyòm-Sifas wafer yo
(1) Molekilè-Kalite Enpurte Adsorption
Molekilè tipik-fòme kontaminan ki adsorbe sou silikon-Sifas waf yo gen ladan grès natirèl oswa sentetik, rezin ak lwil. Enpurte ki prezante pandan koupe, fanm ak polisaj substrats yo tonbe sitou nan kategori sa a. Lòt sous yo enkli anprent dwèt, rezidi fotorezist ak rès òganik.-depo sòlvan.
Molekilè-enpurte tip yo sitou absòbe fizikman epi lye ak silikon-sifas waf yo pa atraksyon elektwostatik. Molekil grès, rezin ak lwil yo jeneralman pa-polè. Lyezon an soti nan atraksyon ant molekil enpurte net ak fòs rezidyèl ki pa satisfè nan atòm silikon sifas yo. Entèraksyon sa a ekivalan a fòs van der Waals ki genyen ant molekil nan kristal molekilè yo. Fòs atiran sa yo relativman fèb epi yo diminye rapidman lè distans entèmolekilè a ogmante. Ranje entèraksyon efektif la se apeprè 2-3×10⁻⁸santimèt (2-3 Å), konparab ak dyamèt molekilè yo. Pakonsekan molekilè-Yo ka retire enpurte kalite sa yo relativman fasil.
Yon lòt karakteristik enpòtan se ke pifò molekilè-kalite kontaminan yo se dlo-konpoze òganik ensolubl. Adsorpsyon yo fè silikon-sifas waf yo idrofob, sa ki anpeche kontak efikas ant dlo deyonize / asid-solisyon alkali ak sifas waf yo. Sa anpeche reyaktif yo kominike avèk patikil sifas yo epi li bloke netwayaj chimik efikas.
(2) Iyonik-Kalite Enpurte Adsorption
Iyon komen-fòme enpurte ki adsorbe sou silikon-sifas waf yo gen ladan K⁺, Na⁺Kalifòni²⁺, Mg²⁺, Fe²⁺, H⁺, OH⁻, F⁻, Cl⁻, S²⁻, CO₃²⁻ak sou sa. Enpurte sa yo soti nan divès sous: lè anbyen, istansil ak ekipman, ajan chimik, ba-dlo deyonize pite, dlo tiyo, souf ekspire ak swe operatè a.
Iyonik-tip adsorption an lajman fè pati chimisorption. Iyon enpurte yo kole sou sifas waf yo atravè chimik-fòs lyezon yo. Distans ekilib ant iyon enpurte yo ak atòm sifas yo trè kout, sa vle di iyon adsorbe yo ka konsidere kòm yon pati nan rezo Silisyòm lan. Enpurte iyonik chimisorbe yo ka aji kòm sant pyèj: gen kèk ki mare elektwon rezo lib yo epi ki sèvi kòm akseptè; gen lòt ki pyèj twou lib yo epi ki fonksyone kòm donatè. Akòz fòs chimisorbasyon ki fò yo, retire enpurte iyonik yo pi difisil pase elimine kontaminan molekilè yo.
(3) Atomik-Kalite Enpurte Adsorption
Atomik-Kontaminan sifas ki fòme yo se prensipalman atòm metalik tankou lò, ajan, kwiv, fè ak nikèl. Atòm metal sa yo anjeneral pwodui pa reyaksyon deplasman redwi nan pwodui asid pou grave, depoze sou Silisyòm.-sifas waf yo.
Atomik-tip adsorption montre fòs lyezon ki pi fò a epi li pi difisil pou elimine. Lou-Atòm metal tankou lò ak platinum apèn reyaji avèk asid ak alkali òdinè. Se poutèt sa, reyaktif espesyal tankou akwa regia yo nesesè pou fòme konplèks idrosolubl. Espès metalik konplèks yo lave apre sa avèk gwo...-dlo deyonize pite.
1.4 Silisyòm Jeneral-Pwosedi Netwayaj Wafer
Jan yo te analize pi wo a, molekilè-enpurte tip yo relativman fasil pou retire. Kontaminan molekilè ki rete yo ka maske kontaminan iyonik yo-ak atomik-enpurte tip epi bloke retire yo. Kidonk, kontaminan molekilè yo dwe elimine nèt an premye pandan silikon-netwayaj chimik wafer.
Iyonik-ak atomik-Enpurte tip yo absòbe chimikman avèk yon gwo afinite sifas. Kontaminan atomik yo nòmalman prezan an ti kantite epi yo inaktif anvè asid ak alkali komen; yo ka sèlman fonn pa dlo regia oswa idwojèn asid.-solisyon peroksid. Dlo regia ak peroksid idwojèn asid fonn tou enpurte iyonik yo. Pwosesis travay estanda a itilize asid-solisyon alkali oswa oksijene idwojèn alkalin pou retire enpurte iyonik yo an premye. Kontaminan iyonik rezidyèl yo ak enpurte atomik yo Lè sa a, yo retire lè l sèvi avèk dlo regia oswa oksijene idwojèn asid. Yon dènye rense ak gwo-Dlo deyonize pite konplete pwosesis la.
An rezime, silikon an jeneral-Sekans netwayaj waf la se: Degrese→Retire iyon→Atomik-retire enpurte→Deyonize-rense ak dlo.
Waf Silisyòm yo dwe sibi yon netwayaj chimik anvan chak eksperyans. Sepandan, kondisyon sifas yo diferan de yon seri a yon lòt. Se poutèt sa, pwodui chimik netwayaj yo ak sib priyorite yo varye kòmsadwa. Pwosesis netwayaj pratik yo fleksib. Metòd ak etap konkrè yo dwe detèmine sou chak ka.-by-baz ka selon netwayaj aktyèl la-egzijans efè yo.
1.5 Tretman Netwayaj pou Metal ak Istansil Komen
Materyèl metalik ak zouti laboratwa yo se sous prensipal Silisyòm.-Kontaminasyon waf. Netwayaj metal ak istansil yo apwofondi obligatwa pou garanti waf la-pwòpte sifas. Prensip jeneral netwayaj pou metal ak istansil se: retire kontaminan grès yo an premye; fè grave oswa lave ak asid, alkali, solisyon lave oswa akwa regia; epi fini pa rense byen ak gwo-dlo deyonize pite.
2 Konesans Sekirite
Eksperyans yo souvan itilize divès pwodui chimik ak gaz, tankou asid ki ka pran dife, eksplozif, toksik ak koroziv.-sibstans alkali. Move manyen ka deklanche aksidan. Mezi prevantif yo ta dwe priyorize. Si yon aksidan rive, rete kalm epi aplike aksyon korektif apwopriye yo san pèdi tan.
2.1 Manyen Solvan Òganik yo san danje
Solvan òganik komen yo enkli toluèn, asetòn, etanòl, metil etil ketòn, trikloroetilèn ak tetraklorid kabòn. Pifò solvan òganik yo ka pran dife epi yo pran dife anba gwo chalè.-kondisyon tanperati oswa toupre flanm dife. Sere yo nan kote ki fre lwen sous ignisyon. Pa chofe resipyan solvan yo dirèkteman sou recho elektrik; dlo-Li pi bon pou chofe beny lan lè chofaj nesesè. Nan ka dife, etenn flanm yo ak yon twal mouye, sab fin, kabòn.-ekstenktè diyoksid, kabòn-ekstengtè tetraklorid oswa ekstengtè kim. Pa janm sèvi ak dlo oswa dlo-asid ki baze sou-ajan pou etenn dife alkali.
Solvan òganik yo volatil epi yo gen diferan degre toksisite. Tout operasyon yo dwe fèt andedan kapo aspirasyon ak bon vantilasyon.
2.2 Manyen Asid ak Alkali san danje
Eksperyans yo itilize fò-solisyon asid tankou asid silfirik, asid nitrique, asid kloridrik, asid fluoridrik ak akwa regia, ansanm ak fò-solisyon alkali ki gen ladan idroksid sodyòm ak idroksid potasyòm. Sibstans sa yo trè koroziv pou po ak rad moun, sa ki mande yon kontwòl sekirite operasyonèl atansyon.
Enstale sistèm vantilasyon ak aspirasyon efikas nan zòn kote vapè asid oswa alkali ka akimile.
Operatè yo dwe mete ekipman pwoteksyon apwopriye tankou gan kawoutchou ak respiratè.
Pa janm pipete solisyon asid oswa alkali nan bouch; sèvi ak pipèt ki gen anpoul kawoutchou.
Fè atansyon pandan transpò a pou anpeche boutèy la chavire oswa kraze. Dirije ouvèti boutèy yo lwen pèsonèl la lè w ap louvri resipyan yo.
Toujou ajoute asid silfirik dousman nan dlo pou dilisyon. Pa janm vide dlo nan asid silfirik konsantre.
Anvan netralizasyon an, delye asid oswa alkali konsantre yo ak dlo, apresa fè netralizasyon an lè l sèvi avèk solisyon alkali oswa asid ki koresponn yo.
Resipyan vid ki te deja gen asid oswa alkali konsantre yo dwe vide nèt, rense yo plizyè fwa avèk dlo, epi answit sibi pwosedi netwayaj regilye.
Nan ka asid-Pou boule alkali, rense tisi ki afekte a avèk anpil dlo k ap koule imedyatman. Si pwodui a antre nan je yo, rense je yo byen vit avèk gwo kantite dlo tiyo. Chèche swen medikal imedyatman apre rense, kèlkeswa gravite boule a oswa ekspozisyon nan je yo.
2.3 Manyen Gaz yo an Sekirite
Gaz eksperimantal yo apwovizyone atravè yon sistèm wo-silenn presyon oswa tiyo gaz. Melanje sèten gaz ka lakòz konbisyon oswa eksplozyon.
Silenn gaz yo gen koulè-kode epi make pou idantifye gaz ki ladan yo. Silenn yo kenbe gaz anba gwo presyon; silenn ki fèk plen yo rive nan apeprè 150 kg/cm²Prekosyon sekirite espesyal aplike pandan depo ak itilizasyon.
Evite ekspozisyon dirèk limyè solèy pou silenn gaz yo pandan ete. Kenbe materyèl ki ka pran dife ak sous ignisyon lwen silenn lan.-zòn depo yo.
Sere pè gaz ki reyaji avèk konbisyon oswa eksplozyon lè yo antre an kontak (pa egzanp, silenn idwojèn ak oksijèn) nan chanm izole separe pou evite aksidan ki koze pa flit gaz.
Pa vide gaz silenn lan nèt; kenbe yon sèten presyon rezidyèl anndan silenn yo.
Anpeche kontaminasyon grès sou tiyo silenn ak kle yo.
Lè w ap itilize idwojèn, retire lè nan ekipman an ak gaz inaktif, enspekte tout sistèm nan pou flit, epi enstale aparèy pou bloke flanm dife.
2.4 Manyen Sibstans Toksik yo san danje
Evite anpwazònman lè w ap travay avèk reyaktif ak konpoze chimik toksik nan eksperyans. Prensip sekirite debaz yo se jan sa a:
Fè operasyon yo andedan kapo aspirasyon yo. Trete rès dechè ak likid dechè yo anvan ou jete yo nan kote ki an sekirite ki deziyen yo.
Mete yon respiratè ak gan pwoteksyon. Evite kontak ak po a epi evite vale materyèl toksik nan bouch a tout pri.
Rense gan yo byen avèk dlo anvan ou retire yo apre ou fin fè eksperyans yo.
Dat piblikasyon: 30 Jiyè 2026