I totonu o le semiconductor-I faʻataʻitaʻiga o le faʻagasologa o masini, o le faʻamamaina o vailaʻau e faʻatatau i le aveeseina o mea leaga eseese poʻo mea leaga o le suāuu o loʻo pipii i luga o semiconductors, mea uʻamea ma meafaigaluega i le fale suʻesuʻe. O le faʻamamaina e faʻaaogaina ai vailaʻau faʻamaʻi ma vailaʻau faʻamaʻi e faʻaosofia ai ni tali faʻamaʻi ma aafiaga o le faʻataʻapeʻapeina faʻatasi ai ma mea leaga ma mea leaga o le suāuu o loʻo pipii i luga o le workpiece. O fua faʻatino e pei o le ultrasonication, faʻavevela ma le pamuina o le vacuum e mafai foʻi ona faʻaaogaina e aveese ai mea leaga mai luga o le workpiece. Ona fufulu lea o workpiece i le tele o le tele o le vai maualuga.-mama vevela-ma-vai malulu ua fa'amamāina mai le ion ina ia maua ai ni mea mama.
1.1 Taua o le Fa'amamāina o Kemikolo
E manaʻomia le faʻamamāina o vailaʻau mo faʻataʻitaʻiga uma i suʻega o le faagasologa. O le lelei o le faʻamamāina o vailaʻau e iai sona aafiaga taua i taunuuga o faʻataʻitaʻiga. O le faʻamamāina le lelei e ono iʻu ai i le le manuia poʻo le le lelei.-taunuuga lelei o faʻataʻitaʻiga. O le mea lea, o le malamalama i galuega ma mataupu faavae o le faʻamamaina o vailaʻau e taua tele mo faʻataʻitaʻiga manuia o le faagasologa.
E pei ona lauiloa, o se tasi o meatotino autū o semiconductors o lo latou maaleale tele i mea leaga. E oʻo lava i mea leaga laiti i vaega o loʻo i ai.-i le-e mafai e le maualuga o le miliona ona suia meatotino faaletino o semiconductors. O lenei meatotino e faʻaaogaina e fausia ai masini semiconductor ma galuega eseese e ala i le doping. Ae ui i lea, o lenei lava meatotino e mafua ai luʻitau mo semiconductor-fa'ata'ita'iga o le fa'agasologa o masini. O vaila'au fa'akemikolo, meafaigaluega fa'agasolo ma vai fa'amamā e mafai ona avea ma puna o le fa'aleagaina o mea leaga. E o'o lava i wafers semiconductor mama o le a a'afia i le fa'aleagaina mata'utia pe a uma ona fa'aalia i le ea o lo'o siomia ai mo se taimi umi. O le fa'amamaina o vaila'au e fa'aumatia ai mea leaga ma fa'atumauina le mama o le silicon-luga o le apameme.
1.2 Va'aiga o le Fa'amamāina o Kemikolo
O le fa'amamāina fa'akemikolo e aofia ai vaega e tolu:
Fa'amamaina o le silicon-luga o le apa;
Fa'amamāina o mea u'amea (e pei o filo tungsten mo eletise e fa'amamago ai, pepa molybdenum mo lagolago e fa'amamago ai, u'amea alumini mo puna o le fa'amamago, chromium mo le chromium-le gaosiga o ufimata);
Fa'amamāina o meafaigaluega ma ipu (e pei o tweezers u'amea, paipa kuata, atigipusa tioata, mamanu karapiti, oloa palasitika ma pa'u).
1.3 Ituaiga o Mea Leaga Fa'aleagaina i luga o le Silicon-Ogaumu Wafer
(1) Molekulekile-Fa'asusuina o Mea Leaga
Molekiula masani-fa'atupuina o mea leaga ua mitiia i luga o le silicon-O luga o le apa e aofia ai ga'o masani po'o ga'o fa'apitoa, resins ma suāu'u. O mea leaga e fa'aofi mai i le taimi o le tipiina, oloina ma le fa'apulusaina o le substrate e masani ona pa'ū i totonu o lenei vaega. O isi punaoa e aofia ai tamatamailima, toega o le photoresist ma toega o mea ola-fa'aputuga o le vai fa'amama.
Molekiula-O ituaiga mea leaga e masani ona mitiia faaletino ma fusifusia i le silicon-luga o le wafer e ala i le tosina mai o le eletise. O molecules o ga'o, resins ma suau'u e masani lava e le o-polar. E mafua mai le fusifusia mai le tosina atu i le va o molelaʻau leaga e le faʻaituʻau ma malosiaga totoe e leʻi faʻamalieina o atomu silicon i luga. O lenei fegalegaleaiga e tutusa ma malosiaga van der Waals i le va o molelaʻau i totonu o tioata molelaʻau. O ia malosiaga tosina atu e fai si vaivai ma vave ona pala i le faʻateleina o le mamao i le va o molelaʻau. O le lautele o fegalegaleaiga aoga e tusa ma le 2-3×10⁻⁸senitimita (2-3 Å), e tutusa ma le lautele o molekala. O le mea lea, o le molekala-e faigofie lava ona aveese ituaiga mea leaga.
O le isi uiga taua o le tele o molecular-o ituaiga o mea leaga o le vai-mea fa'aola e le mafai ona soloia. O lo latou mitiia e maua ai le silicon-e lē lelei tele fogāeleele o le apa, lea e faʻalavelaveina ai le fesootaʻiga lelei i le va o le vai/ʻaisa ua aveeseina le ionisina-vaila'au alkali ma luga o le wafer. E taofia ai e lenei mea le fegalegaleai o reagents ma vaega o luga ma fa'alavelaveina ai le fa'amamāina lelei o vaila'au.
(2) Ionic-Fa'asusuina o Mea Leaga
Ion masani-fa'atupuina mea leaga ua mitiia i luga o le silicon-o luga o le apa e aofia ai le K⁺, Na⁺, Ca²⁺, Mg²⁺, Fe²⁺, H⁺, OH⁻, F⁻, Cl⁻, S²⁻, CO₃²⁻ma isi mea faapena. O nei mea leaga e afua mai i punaoa eseese: ea o le siosiomaga, ipu ma masini, vailaʻau, mea maualalo-vai mama ua fa'amamāina mai le aioni, vai paipa, manava ua mānava ese ma le afu o le tagata faigaluega.
Ionic-O le ituaiga adsorption e tele lava ina a'afia i le chemisorption. O ions leaga e pipii atu i luga o le wafer e ala i vaila'au-malosiaga fa'apipi'i. O le mamao paleni i le va o ions o mea leaga ma atomu o luga e matuā pu'upu'u lava, o lea e mafai ai ona manatu ions ua mitiia o se vaega o le silicon lattice. O mea leaga ionic ua chemisorbed e mafai ona avea o ni nofoaga tutotonu e maileia ai: o nisi e fusifusia ni electrons lattice saoloto ma avea o ni tagata taliaina; o isi e maileia ni pu saoloto ma galulue o ni foa'i. Ona o le malosi o malosiaga chemisorption, o le aveeseina o mea leaga ionic e sili atu ona faigata nai lo le aveeseina o mea leaga molecular.
(3) Atomika-Fa'asusuina o Mea Leaga
Atomika-O mea leaga i luga o le fogāeleele e masani lava o atomu u'amea e pei o le auro, siliva, kopa, u'amea ma le nickel. O nei atomu u'amea e masani ona gaosia e ala i le fa'aitiitia o le fa'agasologa o le fa'aaogaina i totonu o le acidic etchants, ma fa'aputu i luga o le silicon.-luga o le apameme.
Atomika-O le ituaiga adsorption e sili ona malosi le malosi e fusifusia ai ma e sili ona faigata ona aveese. Mamafa-E seasea ona tali atu atomu uʻamea e pei o le auro ma le platinum i ni acid ma alkalis masani. O le mea lea e manaʻomia ai ni reagents faapitoa e pei o le aqua regia e fausia ai ni soluble complexes. O ituaiga uʻamea faʻapipiʻi e mulimuli ane fufulu ese i ni vai maualuga.-vai mama ua fa'amamāina mai le ioni.
1.4 Silikoni Aoao-Faiga Fa'amamāina o le Wafer
E pei ona iloiloina i luga, o le molecular-e faigofie ona aveese ituaiga mea leaga. O mea leaga o lo'o totoe e mafai ona ufiufi ai mea leaga ionic-ma le atomika-ituaiga mea leaga ma taofia ai lo latou aveeseina. O le mea lea, e tatau ona aveese atoa mea leaga molecular muamua i le taimi o le silicon-fa'amamāina o vaila'au fa'akemikolo.
Ionic-ma le atomika-O ituaiga mea leaga e mitiia fa'akemikolo ma le malosi o le fa'apipi'iina i luga. O mea leaga fa'a-atomika e masani ona iai i ni aofa'iga maualalo ma e le mafai ona fa'aaogaina i vaila'au masani ma vaila'au fa'a-alkali; e na'o le aqua regia po'o le hydrogen acidic e mafai ona fa'ata'ape'apeina.-vaifofo peroxide. O le Aqua regia ma le acidic hydrogen peroxide e faʻataʻapeʻapeina ai foʻi mea leaga ionic. O le faiga masani o galuega e faʻaaogaina ai le acid-vailaʻau alkali poʻo le hydrogen peroxide alkaline e aveese muamua ai mea leaga ionic. Ona aveese lea o mea leaga ionic ma mea leaga atomika e faʻaaoga ai le aqua regia poʻo le hydrogen peroxide acidic. O le fufulu mulimuli i le vai maualuga-E fa'amae'a le faiga i le vai mama ua fa'amamāina mai le ioni.
I se aotelega, o le silicon lautele-O le fa'asologa o le fa'amamāina o le wafer e fa'apea: Ave'ese le ga'o→Aveesea o le ion→Atomika-aveeseina o mea leaga→Fa'aesea le ioni-fufuluina i le vai.
E tatau ona fa'amamāina vaila'au o le silicone wafers a'o le'i faia fa'ata'ita'iga ta'itasi. Ae ui i lea, e eseese tulaga o le fogaeleele mai lea taimi i lea taimi. O vaila'au fa'amamā ma sini fa'amuamua o lea mea e eseese ai. E fetu'una'i auala fa'atino o le fa'amamāina. O auala ma la'asaga fa'apitoa e tatau ona fuafuaina i se mataupu.-by-mataupu faavae e tusa ai ma le faamamaina moni-manaʻoga o aafiaga.
1.5 Togafitiga Fa'amamāina mo U'amea ma Meafaigaluega Masani
O mea u'amea ma meafaigaluega i le fale su'esu'e o puna autū ia o le silicon-fa'aleagaina o le apa. E mana'omia le fa'amamāina mae'ae'a o u'amea ma ipu e fa'amautinoa ai le fa'aleagaina o le apa-mama o luga. O le mataupu faavae lautele o le faamamaina o uʻamea ma ipu: aveese muamua mea e pisia ai le gaʻo; faatino le etching poʻo le fufuluina i acids, alkalis, vailaʻau fufulu poʻo le aqua regia; ma faʻaiʻu i le fufuluina lelei i le vai maualuga-vai mama ua fa'amamāina mai le ioni.
2 Malamalamaaga i le Saogalemu
E masani ona faʻaaogaina i faʻataʻitaʻiga vailaʻau eseese ma kasa, e aofia ai le mu, pāpā, oona ma le 'aisa e faʻaleagaina.-mea alkali. O le le taulimaina lelei e ono mafua ai ni faalavelave. E tatau ona faamuamua auala e puipuia ai. Afai e tupu se faalavelave, ia toʻafilemu ma faatino vave ni gaioiga faasaʻo talafeagai.
2.1 Taulimaina Saogalemu o Vai Fa'aolaola
O vaila'au fa'aola masani e aofia ai le toluene, acetone, ethanol, methyl ethyl ketone, trichloroethylene ma le carbon tetrachloride. O le tele o vaila'au fa'aola e mu ma e mumū i le vevela maualuga.-tulaga o le vevela po'o tafatafa o afi matala. Teu i nofoaga malulu ma 'alo'ese mai mea e mu ai. 'Aua le fa'avevela sa'o fagu vaila'au i luga o ogaumu eletise; vai-E sili atu le fa'avevela o le ta'ele pe a mana'omia le fa'avevela. Afai e mu, tineia le afi i se ie susu, oneone manifinifi, ma le kaponi.-mea tineia le taiokesaita, kaponi-tineia afi tetrachloride po'o tineia afi foam. Aua lava ne'i fa'aaogaina le vai po'o le vai-fa'avae i le 'asita-mea e tineia ai le alkali.
E fesuisuia'i vaila'au fa'aola ma e eseese tulaga oona. E tatau ona faia galuega uma i totonu o pulou asu ma e lava le ea e fa'aleleia atili ai le ea.
2.2 Taulimaina Saogalemu o 'Aseta ma Alkalis
E fa'aaogaina e fa'ata'ita'iga ni malosi-vaila'au 'āseta e pei o le sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid ma le aqua regia, fa'apea fo'i ma vaila'au malolosi-o vaila'au alkali e aofia ai le sodium hydroxide ma le potassium hydroxide. O nei vaila'au e matuā 'a'ai i le pa'u ma lavalava o tagata, e mana'omia ai le fa'aeteete i le puleaina o le saogalemu fa'agaoioia.
Fa'apipi'i ni faiga lelei e fa'aoso ai le ea ma le paipa e alu ese ai le ea i nofoaga e ono fa'aputu ai le ausa oona po'o le alkali.
E tatau i tagata fa'agaoioia ona ofuina ni mea puipui talafeagai e pei o totigilima pa'u ma mea manava.
Aua ne'i fa'apuna le vai fa'a'asa po'o le alkali i le gutu; fa'aaoga paipa ua fa'apipi'i i polo pa'u.
Ia fa'aeteete i le taimi o felauaiga ina ia 'aua ne'i mafuli pe gau fo'i fagu. Ia fa'asino avanoa o fagu 'ese mai tagata faigaluega pe a tatala koneteina.
Ia fa'aopopo malie le sulfuric acid i totonu o le vai e fa'avaivaia ai. Aua lava ne'i sasa'aina le vai i totonu o le sulfuric acid fa'aputu.
A'o le'i faia le neutralization, fa'afefiloi ia acids po'o alkalis fa'apitoa i le vai, ona fa'atino lea o le neutralization e fa'aaoga ai ni vaila'au alkali po'o ni acid talafeagai.
O fagu gaogao sa i ai muamua ni 'asita po'o ni alkalis fa'aputu e tatau ona fa'amamago atoa, fa'amamā pea i le vai, ona faia lea o ni faiga masani e fa'amamā ai.
I le tulaga o le 'āsi-mu i le alkali, fufulu vave le vaega ua a'afia i le tele o le vai tafe. Afai e pisia mata, fa'asusu vave mata i le tele o le vai paipa. Saili vave se togafitiga fa'afoma'i pe a uma ona fufulu, e tusa lava po'o le a le ogaoga o le mu po'o le a le afaina o mata.
2.3 Taulimaina Saogalemu o Kasa
O kasa fa'ata'ita'i e tu'uina atu e ala i le maualuga-tane mamafa po'o paipa kesi. O le fa'afefiloi o nisi kesi e ono i'u ai i le mu po'o le pā.
E lanu eseese tane kasa-ua fa'ailogaina ma fa'ailogaina e fa'ailoa ai kasa o lo'o i totonu. E taofia e tane le kasa i le mamafa maualuga; e o'o atu tane fou fa'atumu i le tusa ma le 150 kilokalama/senitimi²E fa'atino ni puipuiga fa'apitoa mo le saogalemu i le taimi e teuina ai ma fa'aaogaina ai.
'Alo'ese mai le susulu sa'o o le la i tane kesi i le taumafanafana. Taofi mea e mu ma mea e fa'amumu ai mai le tane kesi.-sone e teu ai mea.
Teu pea kasa e vave ona mu pe pāpā pe a pa'i i ai (e pei o le hydrogen ma le oxygen tanks) i ni potu eseese e 'alofia ai fa'alavelave e mafua mai i le tafe o le kasa.
Aua le fa'amamā atoa le kesi o le tane; ia taofi pea sina mamafa o totoe i totonu o tane.
Puipuia le pisia o le kelu i valve ma ki o le cylinder.
A fa'aaogaina le haitorosene, fa'amamā le ea mai masini i le kasa e le gaoioi, siaki le faiga atoa mo ni pu, ma fa'apipi'i ni mea e taofia ai le toe fo'i mai o mea.
2.4 Taulimaina Saogalemu o Mea Oona
Puipuia le fa'a'ona pe a fa'aaogaina vaila'au ma vaila'au oona i fa'ata'ita'iga. O mataupu fa'avae autu o le saogalemu e fa'apea:
Faatino galuega i totonu o tapuni asu. Ia togafitia otaota ma vai otaota a'o le'i lafoa'i i nofoaga saogalemu ua atofaina.
Ia ofuina ni mea e manava ai ma ni totigilima puipui. Aloese mai le pa'i atu i le pa'u ma le foloina o mea oona i le gutu i soo se tau.
Fufulu lelei totigilima i le vai a'o le'i aveeseina pe a uma ona faia fa'ata'ita'iga.
Taimi na lafoina ai: Iulai-30-2026